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技 术 指 标 及 性 能
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1.0
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概要
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1.1
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极限真空
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3.0×10-7mbar≤24小时
(无基片,常温,洁净真空室)
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1.2
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恢复真空
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从大气到3.0X 10-3Pa小于20分钟
注：抽气时间会根据镀膜室清洁度和热载荷的不同而有所变化。
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1.3
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粗抽真空
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从大气压到10Pa在5分钟以内
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1.3
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漏率
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≤9 x 10-3 Pa m3/s
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1.4
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膜厚均匀性重复性
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膜厚均匀性和重复性可控制在2%以内。
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1.5
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真空式材料
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不锈钢304
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1.6
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焊接
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TIG焊接、氩弧焊、埋弧焊
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1.7
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形式
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立式 ：真空室门铰链可以根据用户要求，从左向右打开
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2.0
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真空室
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2.1
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真空室
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Ø600mm×750mm h
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2.2
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视窗
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3个Ø120mm的视窗，强化玻璃和防强光护目玻璃。
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2.3
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冷却水管
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真空室腔体配有不锈钢冷却水管
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2.4
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主阀挡板
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1个
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2.5
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衬板
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可拆卸不锈钢衬板安装在侧面和下面，便于清洁镀膜残余物。
衬板设计是便于安装的抽进抽出方式。
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2.6
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膜厚均匀性修正板
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不锈钢制作。
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2.7
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真空室支架
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真空室支架是防抗震设计不锈钢结构，能够承受真空室的载荷重量。基座上安装有可调节高低的滚轮所有电线、气体管路以及水管等布局合理，方便安装
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2.8
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温度感应器
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1个热电偶温度感应探头，连接至真空室侧壁。
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2.9
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腔体开孔口
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底板：电子枪、离子源，氧气氩气供应等端口都是该系统中的标准孔。
侧壁：真空计（高/低真空）、检漏仪、温度传感器等端口
顶板：基片旋转、晶体探测头、光控、充气阀等
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3.0
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工件架/加热系统
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3.1
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工件架
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旋转机构形式为中心驱动，中心转动0-30RPM，无极调速。
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3.2
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工件架旋转
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速度控制：自动/手动模式选择，
速率控制：电机驱动齿轮，软启动/停止减少振动和噪音。
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3.3
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基片加热器
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最高温度：300℃，200℃±10，PID 自动控温
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温度控制仪
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可手动/自动设定温度
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4.0
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抽气系统
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4.1
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高真空泵系统
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Leybold制造 型号：COOLVAC 5.000cl型低温泵
抽真空速度：5000L/S
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4.2
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低真空抽气系统
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前级泵采用德国LEYBOLD Trivac D65B 双级旋片泵和罗茨真空泵WAU251；配备防端流装置
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5.0
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真空测量计Vacuum Gauge Controller
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5.1
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真空控制器
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英国Boc Edwards制造 Model 1575 Pressuve Display
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5.2
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高真空计
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1个电离真空规
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5.3
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低真空计
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2个低真空计
一个在真空室，一个在机械泵高压排气管上。
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5.4
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自动压强控制仪
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采用BALZERS公司RVG0410
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6.0
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电子束
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6.1
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电子束
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日本电子、TELEMARK公司或自制（可选配）
功率10KW
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6.2
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坩锅/坩埚旋转装置
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一个6穴坩埚，每个坩埚容积为25CC（可选8穴坩埚）
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6.3
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电源
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最大功率10KW
自动控制功率，并有安全互锁装置
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6.4
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灭弧器
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灭弧器可防止电子束蒸发系统受到放电电弧的不利影响
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6.5
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挡板
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不锈钢材质
防止膜料掉落挡板设计，可有效的减少应膜料残渣掉落引起的灯丝熔断及膜料的二次污染。
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6.6
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安全互锁
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真空、门、冷却水的互锁。电子枪水管单独安装流量开关以确保安全。
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6.7
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工艺控制
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所有工艺都由触摸式工业电脑及MDC-360C和PLC控制
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7.0
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离子源Ion Source
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7.1
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离子源
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可选配 进口MARKⅡ和国产中科九章
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7.2
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工作气体控制
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提供两个MFC工作单元
1个50 SCCM的O2和1个50 SCCM的 Ar，用于离子源
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7.3
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工艺控制
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所有镀膜工艺都由MDC-360C和PLC控制
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8.0
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热电阻蒸发源Thermal Resistance Evaporation Source
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8.1
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热电阻蒸发源
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自制
1套，两路电极（2路单独可控）
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8.2
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电源
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5KW Power Supply
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8.3
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挡板
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1个 不锈钢挡板
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8.4
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控制器
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手动/自动控制，自动模式由MDC-360C控制速率和膜厚。
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9.0
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膜厚监控系统Deposition Monitoring System
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9.1
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石英晶体膜厚仪
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美国MAXTEK公司MDC-360C型或英国TECTRA公司IL820型（可选）
探头型号：单探头、双探头、六探头（可选）
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10.0
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工艺控制系统
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10.1
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可编程控制器PLC
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型号：西门子。可以提供所有互锁和工艺自动控制的接口和晶控、质量流量计、自动压力控制、温度控制器、真空阀门控制、基片旋转、安全互锁、计算机连接。
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10.2
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自动控制软件
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触摸屏控制，自主开发的全自动控制系统
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11.0
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冷水机
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11.1
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冷水机
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技术参数 控温范围：5~25℃ ，制冷量15RT
为了供应必要的冷却水，设备需要配备一套冷水机，冷却水循环在整个真空室的腔体以及电子枪、离子源、真空泵、冷阱、传感器等组件上，以满足设备稳定的正常运行。
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12.0
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阀门
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12.1
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阀门方式
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电磁气动控制阀门
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12.2
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阀门控制
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手动或自动
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12.3
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高真空阀门
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1个
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12.4
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前级真空阀门
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1个
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12.5
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粗抽真空阀门
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1个
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12.6
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充气阀
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2个（防涡流充气阀一个）
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13.0
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其它安装要求
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13.1
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电路电源
冷水组件
压缩气体
净化气体
接地
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用户自配项目
（技术参数由我方安装前提供，如需由我方提供，可另报价）
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14.0
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备件
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备件部分根据实际合同约定参考。
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