JC3500型磁控溅射镀膜机是专门用于复制长光栅玻璃尺(3200×20×3)磁控溅射制备铬膜的专业镀膜机器。
它采用单端进出料.箱式.三段连接,使整个设备外形美观,结构合理;触摸屏技术和生产在线膜厚测量控制系统的应用使设备具有极高的自动化水平;人机界面人性化,烘烤等技术指标的数字显示使得机器的操作十分简便。
在真空方面,极限真空度为5×10-4Pa,恢复真空度为4×10-3Pa≤30min(空载),系统漏率为停泵关机24小时后真空度≤20Pa,在镀膜方面采用离子轰击系统,这些特性使得机器镀膜具有很高的均匀性,一般小于±4%。在镀制铬膜厚度1000埃时,不同炉次镀膜厚度重复性优于±5%。
此外,JC3500型磁控溅射镀膜机的生产效率很高,一次镀膜装片量最少为40根,平均每2小时就可完成。 |