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JC800型磁控溅射镀膜机

 

JC800型磁控溅射镀膜机是专门用于复制各种尺寸圆盘形光栅盘磁控溅射制备铬膜的专业镀膜机器

它采用立式前开门真空室,外壁通冷却水,有观察窗,使整个设备外形美观,结构合理;触摸屏技术和生产在线膜厚测量控制系统的应用使设备具有极高的自动化水平;人机界面人性化,烘烤等技术指标的数字显示使得机器的操作十分简便。

在真空方面,极限真空度为3×10-4Pa,恢复真空度为2.5×10-3Pa≤30min(空载),系统漏率为停泵关机24小时后真空度≤20Pa,在镀膜方面采用磁控溅射和电阻蒸镀两套镀膜系统,这些特性使得机器镀膜具有很高的均匀性,一般小于±4%。在镀制铬膜厚度1000埃时,不同炉次镀膜厚度重复性优于±5%

此外,JC3500型磁控溅射镀膜机的生产效率很高,一次镀膜装片量φ200直径圆盘光栅不少于20片,或φ30直径圆盘光栅不少于500片。 

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